年度销售收入首次突破5亿元、10亿元、50亿元、100亿元的，分别给予最高不超过200万元、800万元、1200万元、1500万元的奖励。

支持其开展境内外非关联的并购重组，成功并购国内外集成电路产业链相关企业或重点研发机构，超过1000万的按实际发生额10%补贴。最高累计1000万元。

最高可按实际采购发票额20%予以补贴，补贴额度不超过1000万元。